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NS离子研磨
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NS用于系列的离子研磨设备,可以应用于研发以及规模生产,离子研磨系统是磁性材料,金,白金以及合金材料刻蚀的最佳技术选择,可以非常方便的研磨出多种材料。
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主要应用领域
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*薄膜磁头 *磁电子 *MR传感器 *MEMS *射频设备(RF)*光学器件 *超导
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产品线:
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10IBE(研发可用)
-10cm霍夫曼离子源,衬底尺寸:6英寸x1
-直冷,优异的均一性
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20IBE-C(规模生产可用)
-20cm霍夫曼离子源,衬底尺寸::φ3英寸×8,φ4英寸×6
-直冷或间冷, 优异的均一性
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20IBE (规模生产可用)
-20cm霍夫曼离子源,衬底尺寸::φ4英寸×12,φ6英寸×8
-直冷,优异的均一性
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